潔 凈 度 5 級 cleanliness    class    5

環境空氣中大于等于0.5 μm 的微粒數大于350粒/m3(0.35

粒/L)   到小于等于3500粒/m3(3.5     粒 /L);    大于等于5μm 的 微 粒數為0粒/L 的空氣潔凈程度。相當于原100級。

       潔 凈 度 6 級 cleanliness    class    6

環境空氣中大于等于0.5 μm 的微粒數大于3500粒/m3(3.5

粒/L)   到小于等于35200粒/m3(35.2      粒 /L);    大于等于5μm 的 微粒數小于等于293粒/m3(0.3      粒 /L)   的空氣潔凈程度。相當 于原1000級。

      潔 凈 度 7 級 cleanliness      class7

環境空氣中大于等于0 . 5μm 的微粒數大于35200粒/m3

(35.2粒/L)   到小于等于352000粒/m3(352    粒 /L);   大 于 等 于 5μm 的微粒數大于293粒/m3(0.3     粒 /L)  到小于等于2930粒/ m3(3   粒/L)  的空氣潔凈程度。相當于原10000級。

      潔凈度8級 cleanliness   class   8

環境空氣中大于等于0.5 μm 的微粒數大于352000粒/m3 (352粒/L)  到小于等于3520000粒/m3(3520     粒 /L);  大 于 等 于5 μm 的微粒數大于2930粒/m3(3    粒 /L)  到小于等于29300 粒/m3(29    粒/L)   的空氣潔凈程度。相當于原100000級。

      潔凈度8 . 5級 cleanliness   class    8.5

環境空氣中大于等于0.5 μm 的微粒數大于3520000粒/m3 (3520粒/L)  到小于等于11120000粒/m3(11120     粒 /L);   大 于 等于5μm 的微粒數大于29300粒/m3(29     粒 /L)   到小于等于 92500粒/m3(93    粒 /L)  的空氣潔凈程度。相當于原30萬級。